MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的。低精度MEMS惯性传感器作为消费电子类产品，中精度MEMS惯性传感器作为工业级及汽车级产品，而高精度的MEMS惯性传感器作为军用级和宇航级产品，主要要求高精度、全温区、抗冲击等指数。主要用于通讯卫星无线、导弹导引头、光学瞄准系统等稳定性应用；飞机/导弹飞行控制、姿态控制、偏航阻尼等控制应用、以及中程导弹制导、惯性GPS导航等制导应用、远程飞行器船舶仪器、战场机器人等。
过去几年中，MEMS在导航行业日益受到青睐，因为它提供了经过改进的误差特性和环境稳定性，以及更多的带宽和更出色的g灵敏度，而且嵌入式运算能力的应用日益广泛，可以运行高级融合和传感器误差建模算法。新的精密惯性导航系统（INS）市场正在形成气候，MEMS技术也在进入以往被FOG技术主导的市场。与传统陀螺仪、光纤陀螺仪和激光陀螺仪相比，MEMS陀螺具有明显的优势：1、体积小、重量轻。适合于对安装空间和重量要求苛刻的场合，例如弹载测量等；2、低成本；3、高可靠性。内部无转动部件，全固态装置，抗大过载冲击，工作寿命长；4、低功耗；5、大量程。适于高转速大g值的场合；6、易于数字化、智能化。可数字输出，温度补偿，零位校正等。
新思界产业研究中心发布的《2018-2021年MEMS行业市场现状及投资前景预测报告》认为：高成本一直是制约精确制导导弹大量装备与使用的一个主要因素，MEMS陀螺仪成本低、易于批量化生产的特点成为降低武器装备成本的首选。另外，战术导弹作战使用环境复杂，贮存周期长，可靠性要求高，飞行条件下的噪声、振动、过载、温度等环境条件恶劣，要求惯性仪表必须具有很高的性能及较好的长期稳定性。MEMS陀螺仪环境适应性强、可靠性高的特点能够较好地满足战术导弹对环境适应性的要求。
近年来，我国MEMS陀螺仪行业发展迅速，行业内企业数量不断增多，但多数企业研发创新能力不足，中国MEMS陀螺仪产品以中低端产品为主，高性能MEMS陀螺仪产品较少。目前，国内具备生产MEMS陀螺仪能力的企业并不多，主要有保定开拓精密、美泰电子、北斗星通、214所、西安精密。
新思界行业研究员认为：随着现代战争的需要和现代武器装备的发展，采用小型武器进行精确打击代表着未来军事高科技的发展趋势，对制导精度也提出了新的要求，进一步拓展了MEMS陀螺仪在战术导弹中的应用领域。由于MEMS陀螺仪可广泛应用于防空导弹、反坦克导弹、便携式导弹、航空制导炸弹等制导武器，随着智能弹药在武器弹药中的比例不断提高，智能弹药对MEMS陀螺仪的需求不断增加，预计2018-2025年我国MEMS陀螺仪市场规模不断增加。
