微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）别名微电子机械系统、微系统、微机械等，是将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统，它的操作范围在微米甚至纳米范围内。6英寸MEMS晶圆指直径为6英寸MEMS晶圆，是制造MEMS器件的基础原材料。
6英寸MEMS晶圆行业内有主要有两种类型：一种是IDM厂商，即MEMS设计、晶圆制造、封装测试在内全部或主要业务环节，如意法半导体、索尼、美泰科技等；另一种是独立代工厂，包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂，如台积电等。目前在设计、制造、封测层面都具有深厚积累的IDM厂商处于MEMS市场领导地位，但MEMS生产正从IDM向纯代工扩张。
近年来，随着全球半导体制造业的转移，中国大陆逐渐成为全球6英寸MEMS晶圆生产线建设最为集中的地区，主要企业有美泰电子科技有限公司、山东博华电子科技发展有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海先进半导体制造有限公司等，尤其是美泰电子科技有限公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备，是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位，可提供设计、加工、封装、测试和可靠性试验等一站式服务。
MEMS作为微传感器与执行器的发展主流，推动着半导体产业“超越摩尔定律”的变革，MEMS产品在汽车、工业控制、航天航空、医疗健康、智能手机、平板电脑等领域得到广泛应用。未来，随着MEMS感应器和致动器在视觉体验、音质改良、全新触觉界面、通信性能、导航性能、环境感测等方面的改进，将会从不同层次带来强劲的市场增长。同时，随着我国汽车电子、新型数字消费类、工业智能化和智慧医疗等产业的快速发展，对微系统传感器的各种新需求也将不断涌现。总的来看，随着下游市场不断发展，6英寸MEMS晶圆市场需求将不断增加。
新思界
行业研究员表示，随着下游市场的发展，其对MEMS晶圆制造的成本和技术要求也将越来越高，促使MEMS晶圆制造从6英寸向8英寸方向发展。因此，6英寸MEMS晶圆面临技术更替带来的替代风险。但就目前来看，MEMS晶圆制造需求旺盛，6英寸MEMS晶圆市场还有较大的发展空间，市场发展前景较好。
