电子级六氟丁二烯（C4F6），也称为电子级六氟-1,3-丁二烯、电子级全氟丁二烯，属于高性能含氟绿色电子气体，是半导体先进制程制造中不可或缺的关键电子特气，纯度大于99.999%（5N）。
电子级六氟丁二烯具有刻蚀速度快、选择性高、环保属性优异（GWP值低）、工艺兼容性好等突出优势，主要应用于14nm及以下先进制程的逻辑芯片、3D NAND存储芯片及OLED显示面板制造中的干法蚀刻环节，能够在纳米级线宽条件下实现高精度图案转移，同时将对基底材料的损伤控制在最低水平。
电子级六氟丁二烯的生产通常以副产含氟烯烃或氟化工中间体为原料，经过深度合成及多级纯化工艺制备而成。近年来，我国在该产品纯化工艺领域取得了显著技术突破。2026年3月，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司获得“一种基于萃取精馏技术提纯电子级六氟丁二烯的方法”发明专利授权，该发明具有产品纯度高、工艺步骤简单、对设备要求低等优点，易于规模化生产。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国电子级六氟丁二烯行业研究及十五五规划分析报告》显示，目前全球晶圆产能正进入加速扩张通道。预计2028年全球12英寸晶圆产能将进一步突破1100万片/月，其中7nm及以下先进制程月产能将超130万片。在此背景下，电子级六氟丁二烯市场需求释放空间极为广阔。
受高纯度生产与技术壁垒、资本与规模壁垒、供应链及认证壁垒等因素限制，日本、德国、韩国等发达国家的企业，凭借技术先发优势长期占据全球电子级六氟丁二烯市场主导地位，代表性企业包括关东电化、大金工业等。我国电子级六氟丁二烯行业起步较晚，随着国内龙头特种气体企业纷纷加速布局，我国市场国产化进程加快。
我国电子级六氟丁二烯市场生产企业包括中船派瑞、昊华科技、华特气体、广钢气体、金宏气体、天津绿菱股份、中巨芯科技、南大光电等。2025年4月，广钢气体获得1.37亿元电子特气项目备案，项目建成后将形成年产100吨工业级和20吨高纯六氟丁二烯的生产能力；2026年4月，中船派瑞年产200吨高纯六氟丁二烯建设项目进入审批公示阶段。
新思界
行业分析人士表示，电子级六氟丁二烯是现阶段唯一兼具卓越刻蚀性能与良好环保特性的含氟电子蚀刻气体，行业发展前景广阔。在国家半导体产业链自主可控战略深入实施、国内企业在纯化技术与工程化能力上持续突破背景下，我国电子级六氟丁二烯行业正逐步实现从“技术突破”向“规模化国产替代”的跨越，国产化发展水平正不断提升。
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