可熔性聚四氟乙烯(PFA),指四氟乙烯(TFE)与全氟丙基乙烯基醚(PPVE)的共聚物。半导体级可熔性聚四氟乙烯,简称半导体级PFA,指纯度达到ppb(十亿分之一)级的可熔性聚四氟乙烯,具备耐腐蚀、抗蠕变、耐高温等特点,在半导体领域应用较多。
乳液聚合法为半导体级PFA主流制备方法,该法通常以TFE为核心单体、以PPVE为共聚单体,加入引发剂与链转移剂,经过共聚、凝聚、洗涤、干燥与脱挥等流程制得成品。经过多年发展,我国半导体级PFA制备技术不断进步,已有多家企业具备其规模化生产实力。在此背景下,半导体级PFA行业发展速度有望加快。
近年来,为规范市场发展,我国有关部门已出台多项半导体级PFA相关行业标准及团体标准。2025年11月,中国石油和化学工业联合会发布的团体标准《T/CPCIF 0464-2025 半导体级可熔性聚四氟乙烯(PFA)管》正式实施,文件在参考SEMI F57的基础上,对半导体级PFA管的尺寸规格、外观、总有机碳含量、表面粗糙度、金属与非金属离子析出量作出了系统规定。未来伴随行业标准不断完善,我国高品质半导体级PFA市场占比有望提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2030年半导体级可熔性聚四氟乙烯(半导体级PFA)行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,半导体级PFA在半导体领域需求旺盛,其可用于制造湿法清洗设备、刻蚀设备以及CMP设备部件。在CMP设备中,半导体级PFA可用于其泵阀内衬制造环节。未来伴随半导体产业发展速度加快,湿法清洗设备、刻蚀设备以及CMP设备等半导体设备应用需求将不断增长,届时半导体级PFA行业发展空间将得到进一步扩展。
全球半导体级PFA代表企业包括美国科慕公司(Chemours)、日本大金工业株式会社(Daikin)、美国3M公司、比利时索尔维集团(Solvay)等。在本土方面,巨化股份、齐氟新材、永和股份、昊华科技以及东岳未来等为我国半导体级PFA市场主要参与者。东岳未来正在推进半导体级PFA生产项目建设,建成后其年产能将达到12000吨。
新思界
行业分析人士表示,半导体级PFA作为一种特种化学品,在半导体领域拥有广阔应用前景。未来伴随市场需求逐渐释放,我国半导体级PFA行业发展空间将得到进一步扩展。目前,我国企业正在推进半导体级PFA的研发及生产,未来其产能将进一步扩张,产量将持续增长。
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