马赫-曾德尔（M-Z）干涉仪，基于光的干涉现象来测量光程差，将光源发射的光束利用分振幅法，分成两道准直光束，分别经过不同路径与介质，产生相对相位变化，通过测量光束相位差，分析样品厚度、折射率以及其他光学特性。
马赫-曾德尔干涉仪主要由光源、分束器、样品室、反射镜、检测器等组成，工作原理是，光源发射光束，分束器将光束分为两道互相垂直的光束，其中一道光束经过样品室，为样品光束，另一道光束不经样品室，为参考光束，两道光束分别由对应的反射镜反射回来形成光路，两条光路的光程不同，形成光程差，然后两道光束汇合进入检测器，利用光的干涉现象实现样品的光学特性测量。
19世纪90年代，马赫-曾德尔干涉仪被开发问世，是以提出分振幅双光束干涉仪以及仪器结构改良的两位科学家的名字来命名。马赫-曾德尔干涉仪的工作原理与迈克尔逊干涉仪相似，但存在明显不同。马赫-曾德尔干涉仪的两道光束分别有各自的光路，两条光路之间严格分隔，避免了迈克尔逊干涉仪易产生回波干扰的缺点，并且马赫-曾德尔干涉仪的内部设置更容易更改。
马赫-曾德尔干涉仪可以广泛应用在天文学、量子力学、空气动力学、等离子体物理学、传热学、光通信、工程科学、应用科学、生物学、医学等领域。马赫-曾德尔干涉仪在天文学领域，可用于太阳系外行星探测方面；在量子力学领域，可以研究量子纠缠、量子芝诺效应、量子擦除实验等；在空气动力学领域，可用来观察风洞气体流动，气体压力、密度、温度变化等；在通信领域，广泛应用于光纤传感器方面。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2029年中国马赫-曾德尔干涉仪行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，在全球范围内，马赫-曾德尔干涉仪生产商主要有美国是德科技（Keysight Technologies）、美国API（Automated Precision）、美国ZYGO、德国OptoTech、德国Status Pro、德国JENAer、英国雷尼绍（Renishaw）、瑞士Haag-Streit、日本TOSEI ENGINEERING CORP等，欧美日企业在全球市场中处于领先地位。
新思界
行业分析人士表示，2023年，全球干涉仪市场规模约为43.9亿元，预计2023-2029年将继续以4.5%的年复合增长率增长，到2029年市场规模将达到57.2亿元。全球干涉仪市场保持持续上升态势，马赫-曾德尔干涉仪作为干涉仪产品的一种，发展空间正在不断增大。
