特外曼-格林干涉仪(Twyman-Green干涉仪),也称泰曼-格林干涉仪,是以两位发明者特外曼(Twyman)和格林(Green)的名字命名,是一种双光束干涉仪,是在迈克尔逊干涉仪的基础上发展而来。
20世纪10年代,英国科学家特外曼、格林,在迈克尔逊干涉仪的基础上进行改进,利用扩展光源替代了点光源,并取消了为避免额外光程差而采用的补偿板,以提高测量精度,得到了特外曼-格林干涉仪,最初开发目的是为了检验光学元件的质量。
特外曼-格林干涉仪光源波长的长短会影响分辨率,分束器反射率的高低会影响干涉图案的清晰度。特外曼-格林干涉仪主要包括静态型特外曼-格林干涉仪、动态型特外曼-格林干涉仪两种,前者在测量过程中,光源、干涉仪、样品需保持静止,后者在测量过程中,光源、样品可移动,可实现动态测量。
特外曼-格林干涉仪可以检验光学平板玻璃、透镜、棱镜、球面镜等光学元件的表面质量,可测量材料的折射率、光学系统的像差、光波前偏等,以及实现波前重构。随着科技不断进步,特外曼-格林干涉仪的测量精度、数字化等性能不断提升,可实现自动化、实时、复杂测量,应用领域正在不断拓宽。
在全球范围内,特外曼-格林干涉仪生产商主要集中在欧美国家,代表性企业有美国ZYGO、美国Onto Innovation、美国4D Technology、美国是德科技(Keysight Technologies)、美国Mahr-ESDI、德国Steinbichler Optotechnik GmbH、德国Jenoptik、德国OptoTech、德国XONOX、英国Arden Photonics、法国Kylia、瑞士Haag-Streit等。
新思界
行业分析人士表示,2023年,全球干涉仪市场规模约为43.9亿元;预计到2029年,全球干涉仪市场规模将达到57.2亿元。全球干涉仪市场发展态势良好,现阶段,迈克尔逊干涉仪是干涉仪产品中最为常见的类型,特外曼-格林干涉仪在迈克尔逊干涉仪的基础上提高了测量精度,适合详细测量物品表面形状偏差,拥有良好发展空间。