斐索干涉仪主要用于光学元件表面质量检验 市场需求不断增长

　　斐索（Fizeau）干涉仪，基于等厚干涉原理制造而成，属于单路径干涉仪，以发明者的名字命名，于19世纪50年代由法国科学家斐索（Fizeau）发明。斐索干涉仪首次实现了实验室精确光速测量，被广泛应用于光学元件面形检测领域。由于Fizeau也被译作菲索，斐索干涉仪也称为菲索干涉仪。

 

　　斐索干涉仪的工作原理是，光源发出的光经会聚准直后成为平行光，照射样品以及参考平板，光线在样品表面、参考平板表面反射，形成两束反射光，汇合后由于相位差会产生干涉条纹，通过检测器观察干涉条纹的变化，可以检验光学元件的表面质量，测量光的波长、速度等物理量。

 

　　根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国斐索干涉仪（Fizeau）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，斐索干涉仪是一种常见的光学仪器，在光学表面质量高精度测量方面应用广泛，可以对平面、凹面、凸面、球面光学元件进行测量，检测光学元件的面形、光学镜头的波像差、光学材料的均匀性，广泛应用于物理学、化学、生物学、精密机械等领域，其中在生物学领域，可以研究细胞动态、分子结构。

 

　　斐索干涉仪属于单路径干涉仪，与多路径干涉仪例如迈克尔逊干涉仪（Michelson）相比，由于两束光沿同一光路行进，避免了两束光有两条光路易受外界干扰、导致干涉条纹不稳定的缺点，测量精度更高。特外曼-格林（Twyman-Green）干涉仪是在迈克尔逊干涉仪的基础上改进得到，测量精度提高。斐索干涉仪与特外曼-格林干涉仪是常用的检验光学元件表面质量的两种干涉仪。

 

　　预计2023-2029年，全球干涉仪市场将以4.5%的年复合增长率增长，到2029年市场规模将达到57.2亿元，斐索干涉仪作为常见的干涉仪产品，市场前景良好。受益于科技不断进步、光学表面测量需求日益增加、应用领域不断拓宽，斐索干涉仪市场需求不断增长、新型产品不断涌现。在全球范围内，领先的斐索干涉仪生产商主要是美国Zygo公司，其研制的GPI系列激光干涉仪，基于斐索干涉仪原理开发得到，性能突出。

 

　　新思界行业分析人士表示，除美国Zygo外，全球代表性斐索干涉仪生产商还有美国Mahr-ESDI、美国Bristol Instruments、德国HighFinesse、英国雷尼绍（Renishaw）、美国是德科技（Keysight Technologies）、德国OptoTech、日本Tosei Engineering Corp、瑞士Haag-Streit、美国API（Automated Precision）、德国Status Pro、德国JENAer、法国Kylia、德国TRIOPTICS、美国4D Technology等。

 

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