分子泵是真空泵的一种,工作原理是利用高速旋转的转子,将动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩至排气口,后被前级抽走,进而获得高真空及超高真空。
分子泵发展已有100多年,随着技术革新,分子泵已经历了牵引式分子泵、涡轮分子泵、磁悬浮轴承与气体静压轴承分子泵、复合分子泵等迭代,目前磁悬浮轴承、复合分子泵已达到实用化程度,应用场景广泛。随着技术迭代,分子泵性能也实现了不断提升。
分子泵冷却方式分为自然冷却法、强制风冷法、水冷法等。分子泵是高真空及超高真空领域首选设备之一,具有功耗小、噪音低、操作简单、易维护、启动快、无油污染等特点,可用于金属冶炼、光学仪器、航空航天、半导体、光伏、平板显示、新能源等多个领域。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年中国分子泵市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示,磁悬浮分子泵是光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入机等半导体设备核心零部件,近年来,受益于半导体、新能源等领域对高真空环境的需求不断释放,磁悬浮分子泵市场规模逐渐扩张,2024年全球磁悬浮分子泵市场规模达2.6亿美元,预计2030年这一市场规模将增长至4.8亿美元。
分子泵行业存在一定技术壁垒,国外分子泵研制起步早、技术先进,在高端分子泵领域占据着重要地位,包括德国普发Pfeiffer、英国爱德华Edwards、日本岛津Shimadzu、德国莱宝Leybold、美国安捷伦Agilen等企业。
我国分子泵研发起步较晚,但目前国内多家企业已打破技术垄断,实现了分子泵国产化生产。我国分子泵生产企业包括北京中科科仪股份有限公司(中科科仪)、杭州昆泰磁悬浮技术有限公司、合肥昱驰真空技术有限公司、山东世纪安泰真空设备有限公司等。中科科仪是国内分子泵技术引领者、标准起草者及最大生产供应商,产品性能已达到国际领先水平。
新思界
行业分析人士表示,分子泵发展时间长,目前市场上已有多种规格的分子泵,应用场景广泛,涉及到半导体、光伏、光学仪器、航空航天等领域。我国分子泵研制起步较晚,但近年来,依托高性价比、国产化政策等优势,国产分子泵迎来了广阔发展空间。随着需求升级、技术迭代,未来分子泵将进一步向更高效、更长寿命、更智能等方向发展。
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