近几年来，我国集成电路高端制造装备和材料从无到有填补产业链空白，制造工艺与封装集成由弱渐强走向世界参与国际竞争，集成电路产业驶入了自主创新发展的快车道。
关键装备实现从无到有
我国集成电路装备专项实施以来，我国集成电路制造技术和产业实现了从无到有、由弱渐强的巨大变化。长期以来，在集成电路高端装备上我国长期受制于人，因为没有工艺节点达到90纳米、65纳米以下的国内自主研发集成电路装备，只能采用国外的设备。
西方发达国家一直对出口到中国的集成电路制造装备和材料以及工艺技术严格审查和限制。与此同时，随着我国国民经济的快速发展尤其是信息化进程的加快，对集成电路产品的需求持续快速增长，从2006年开始，集成电路产品超过石油成为我国最大宗进口产品，2013年至今，每年进口额超过2000亿美元。
实现集成电路领域的自主创新发展迫在眉睫。2008年集成电路装备专项实施以来，200多家企事业单位、2万多名科研人员参与技术攻关，主要集中在北京、上海、江苏、沈阳、深圳和武汉等6个重点产业聚集区。经过广大科研人员艰苦努力，我国集成电路制造技术和产业实现了从无到有、由弱渐强的巨大变化。
建立协同发展新模式
集成电路装备专项通过市场机制打通了科技与经济的连接通道，建立科技、产业、金融与区域经济有效协同的新模式，取得了一系列技术成果，并且通过积极探索，推动构建了市场经济下的新型举国体制。
为了更好地解决科技成果产品化的问题，集成电路装备专项率先提出了“应用考核技术，整机考核部件，下游考核上游，市场考核产品”的用户考核机制。通过用户和市场的考核验证，保证专项成果成为经过严格的市场与用户考验、真正可以应用的产品，解决了科技成果检验标准和验证机制的难题，从而使专项研发的装备、材料、零部件和工艺实现从技术创新到成果转化应用的艰难跨越。
成果应用带动产业提升
通过利用集成电路装备技术，泛半导体制造领域的装备国产化率大幅提高，LED照明、光伏等产业规模跃居世界第一。作为基础产业的集成电路制造装备业，其成果辐射的带动面很广。通过利用集成电路装备技术，LED照明、传感器、光伏等泛半导体制造领域的装备国产化率大幅提高。尤其是LED照明、光伏等领域已实现关键装备成套国产化，国产装备成为市场主流。
通过集成电路装备专项成果扩展应用，北方华创科技集团股份有限公司成为LED、光伏等泛半导体设备国际主流供应商，近年来在与本土零部件企业合作中，大幅提升了国产设备的性价比，在LED、光伏等领域全面替代进口产品，不仅增加了客户效益，也为公司带来了数十亿元的销售收入，相关设备批量出口美国、印度等国家。
新思界
行业分析师表示，中国是全球最大的半导体市场，也是全球最大的电子信息产品制造基地。面向2020年，集成电路装备专项将围绕传统产业升级和战略性新兴产业发展的需求组织攻关，推动创新成果的规模化应用，支持中国企业在全球产业链中建立起核心竞争力，实现产业自主发展，形成特色优势。
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