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国产MEMS惯性器件发展迅速 产品精度不断提高

2019-12-09 18:06      责任编辑:李夕冰    来源:www.newsijie.com    点击:
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国产MEMS惯性器件发展迅速 产品精度不断提高
 
  MEMS惯性器件的工作原理类似于传统的惯性器件,即通过测量载体的质心运动(加速度)和姿态运动(角速度),从而可以实现对载体的控制和导航。与传统惯性器件相比,MEMS惯性器件的体积、价格可降低几个数量级,广泛用于航天、航空、航海和大地测量领域。

  我国的MEMS惯性器件的研究起步于1994年,自1995年起得到科技部、教育部、国家自然科学基金委员会等大力支持,国内的MEMS陀螺仪研制取得了显著成果。1998年清华大学研制出全国第一个音叉式MEMS陀螺仪,其分辨率为3°/s。2006年,电子集团49所与俄罗斯应用物理研究所合作研制出分辨率为70°/h的陀螺。2010年,中国科学院传感器技术国家重点实验室报道了一种采用高对称结构的微机械振动环型陀螺。2012年,台湾大学的Chun-Wei Tsai等制作了具有宽驱动频率的双解耦微机械陀螺。经过20多年的发展,我国现有的技术已经形成从设计到生产、测试的一系列体系,国内众多著名MEMS惯性器件公司的器件精度也有了显著提高。

  根据新思界产业研究中心发布的《2019-2024年MEMS惯性器件行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,近几年来,MEMS惯性器件发展迅速,精度不断提高。虽然精度相比光纤陀螺、激光陀螺仍有很大差距,但是其价格低、体积小、重量轻,使MEMS惯性器件产品在惯性导航系统中发挥重要作用。其中,2015年中国MEMS惯性器件产品市场规模为29.5亿元,2018年,市场规模增长到36.7亿元。

  MEMS惯性器件具有单位体积小、成本低、功耗低、重量轻等优势。但是由于MEMS惯性器件精度较低,长时间使用会导致误差发散较快,不能担任长时间的导航任务,所以目前一般采用多传感器融合的方式来进行导航,即将MEMS惯性导航与其他导航方式进行融合,通过其他导航系统的导航信息辅助来修正惯性导航系统的误差,由此来提高整个导航系统的精度。

  新思界产业研究员表示,我国在MEMS惯性器件领域的研究起步较晚,虽然经过近些年的努力,技术有所进步,但与国外还有明显的差距,尤其是中高端传感器技术。因此,加大力度研发中高端MEMS惯性器件是我国拉近与国外企业差距的方法之一,同时也是中国企业突围而出的必然选择。
关键字: MEMS