MEMS惯性传感器是一种用来检测被测物体的惯性力，进而测量其加速度、冲击力等相应运动状态变化的传感器，是解决导航、定向和运动载体控制的重要部件。MEMS惯性传感器具有尺寸小型化、微电子高度集成等优点，被广泛应用到航空航天、消费电子、石油化工、医疗等领域。
MEMS惯性传感器的产业链分为四个递进步骤，分别为设计、制造、封装测试、方案等。MEMS设计是MEMS的核心门槛，较多企业会采用Fabless模式，如RDA、全志科技、海思半导体等，但也存在少部分企业采用IDM模式，如Bosch、ST等。
在MEMS制造方面，目前多采用代加工的形式，国内MEMS代工厂有中芯国际、华润上华等，自身硬件能力与世界水平接近，但创新能力较弱，产品良率和可靠性无法达到规模化生产的要求，因此本土企业多倾向于同TSMC、X-Fab、Silex海外成熟企业合作。在MEMS的封装测试以及方案提供方面，目前也多是海外企业占据。
MEMS惯性传感器按照精度可被分为低、中、高三个阶级，低精度的惯性传感器主要被应用到消费电子，如手机、计步器、游戏机、GSP导航、智能运动器械、健康检测仪等领域，主要的供应商有苏州明皓、TDK、ST、Rohm等。
中精度MEMS惯性传感器主要应用到汽车中的TPMS、自动驾驶、安全气囊触发、GPS辅助导航、轮胎防盗等，除以上领域外，还可以应用到机器人、轨道交通、大型医疗器械、工业自动化、仪表仪器等领域，主要供应商有松下、Infineon、精工、ADI、Bosch等。
高精度MEMS惯性传感器主要被应用到国防领域中的战场机器人、导弹导引头、智能炮弹，对于稳定性要求较高，主要供应商有BEI、Sensonor、Honeywell、Endevco、Sagem等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2020-2024年MEMS惯性传感器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，总的来看，目前低精度MEM惯性传感器市场消费量较高，消费电子是目前MEMS惯性传感器第一大应用市场，占比达到48%左右，此外汽车电子是第二大应用市场，占比达到13%左右。受益于我国消费电子以及汽车智能化的快速发展，在2019年我国MEMS惯性传感器市场规模达到78.9亿元。未来随着5G商业化，以及汽车自动驾驶渗透率的提升，预计到2023年中国MEMS惯性传感器市场规模将突破100亿元。
新思界
产业分析人士表示，MEM惯性传感器的应用领域多为前沿产业，因此在下游产业的快速发展带动下，MEM惯性传感器市场将处于快速增长趋势。在竞争方面，本土MEM惯性传感器企业由于技术、创新等能力有限，在市场缺乏竞争优势，市场占比较小，且多聚集在低端领域，未来我国MEM惯性传感器市场国产替代空间较大。
