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晶体管尺寸接近物理极限 柔性二维半导体器件开发与应用受到关注

2025-03-13 17:43      责任编辑:周圆    来源:www.newsijie.com    点击:
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晶体管尺寸接近物理极限 柔性二维半导体器件开发与应用受到关注

  柔性二维半导体器件,是利用拥有独特电学特性的二维半导体材料制造而成的可弯曲、卷绕、折叠的光电子器件。
 
  柔性电子可以卷曲、折叠,并仍能够保持性能稳定,这为电子产品设计提供了新的解决方案。二维半导体材料拥有独特的机械、电学、光学等特性,在柔性器件制造领域受到关注。
 
  二维半导体材料由单层或几层原子构成,厚度超薄,且电子传输性能优异。二维半导体材料主要包括二硫化钼、二硒化钨等过渡金属硫化物,以及石墨烯、黑鳞、六方氮化硼、硒化铟、砷化镓等。
 
  根据新思界产业研究中心发布的《2025-2030年中国柔性二维半导体器件行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,采用二维半导体材料来制造器件,可以提高器件性能、缩小器件尺寸,并能够实现柔性器件。二维半导体材料主要用来制造晶体管,进而应用在存储器、传感器、光电子器件、柔性电子、可穿戴设备、神经形态计算、太阳能电池等领域。
 
  当前,硅晶体管尺寸缩小已接近物理极限,在单位面积集成电路上的集成数量难以再大幅提升,限制了芯片性能进一步突破。利用二维半导体材料制造晶体管,可以减小短沟道效应(SCE)、缩小晶体管尺寸。基于二维半导体晶体管制造而成的柔性集成电路,可以应用在柔性电子产品、可穿戴设备等生产领域。
 
  例如二硫化钼(MoS2),可以采用化学气相沉积法(CVD)、机械剥离法、液相剥离法等工艺制备二维材料,其厚度超薄、透明性高、柔性好,具有优异的电学、光学、机械等性能,可以制备得到尺寸小、功耗低、柔性透明、灵敏度高的柔性二维半导体器件。
 
  国际半导体联盟在2015年技术路线图(ITRS)中,指出二维半导体是下一代半导体器件的关键材料。在半导体器件小型化、柔性化、功能集成化发展背景下,柔性二维半导体器件开发与应用极受关注。
 
  在我国,中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心张广宇团队,在蓝宝石上外延生长大尺寸、高电学质量的单层二硫化钼晶圆,并采用逐层外延工艺生长出层数可控的多层二硫化钼晶圆,基于此加工了短沟道和长沟道场效应晶体管器件进行验证,结果表明基于多层二硫化钼晶圆的晶体管电学质量更优。
 
  新思界行业分析人士表示,2024年8月,我国工信部发布国家重点研发计划“微纳电子技术”重点专项2024年度项目申报指南,提出面向多功能融合的柔性可穿戴应用,发展基于柔性的衬底二维半导体器件与电路技术。在此背景下,我国柔性二维半导体器件行业发展前景广阔。
 
关键字: 柔性二维半导体器件