MEMS即微机电系统，是一种将微型机械结构与电子电路集成在一起的技术。MEMS流量传感器，是一种基于MEMS技术的流量测量设备，通过测量流体通过传感器时产生的物理效应来确定流量。
根据测量原理不同，MEMS流量传感器分为差压式、热敏式、超声波式等类型。MEMS流量传感器具有体积小、响应速度快、动态测量范围宽、功耗低、测量精度高、生产成本低等优点，在航空航天、医疗设备、汽车、工业控制、环境监测等领域广泛应用。
根据新思界产业研究中心发布的
《中国MEMS流量传感器产业发展及“十五五规划”建议报告》显示，在汽车领域，MEMS流量传感器可用于汽车发动机的燃油喷射控制系统，通过精准测量进气量，为发动机的高效运行提供关键数据支撑；在医疗设备领域，MEMS流量传感器适用于麻醉机、制氧机、呼吸机等医疗设备，保障诊疗安全高效；在环境监测领域，MEMS流量传感器可用于烟气排放、污水排放等场景的流体流量计量，为环境治理提供支持。随着下游行业对流量测量设备需求不断增长，MEMS流量传感器市场空间将持续拓展。
全球MEMS流量传感器生产主要集中在欧洲、美国、中国等国家和地区，其中美国矽翔公司、英国Flusso、瑞士IST AG等企业在全球高端市场上居于领先地位。国内参与MEMS流量传感器研发和生产的企业包括敏芯股份、合肥智感科技、汉威集团、无锡芯感智科技、青岛芯笙微纳电子等。敏芯股份是国内首家实现MEMS全产业链自主化的高新技术企业，产品涵盖声学、压力、惯性、流量传感器等品类。青岛芯笙微纳电子拥有“一种高灵敏度的MEMS流量传感器”、“一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法”等多项发明专利。
为促进MEMS流量传感器行业规范化、高质量发展，我国出台了多项相关标准，包括《MEMS流量传感器可靠性试验规范（T/HNIA 006—2025）》《MEMS流量传感器性能测试与评定方法（T/HNIA 007—2025）》等。
新思界
行业分析人士表示，MEMS流量传感器综合性能优良，应用领域广泛。随着技术迭代升级、下游应用领域不断拓展，MEMS流量传感器市场仍具有增长潜力。随着MEMS、传感等相关技术进步，以及企业加大产品创新研发力度、市场对流量测量设备性能及质量要求提升，MEMS流量传感器行业朝着微型化、集成化、高端化等方向发展。
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