五氯化钨，属于过渡金属卤化物，化学式WCl5，外观为墨绿色晶体或暗蓝色针状晶体，相对密度3.875g/cm3，熔点248℃，沸点275.6℃，微溶于非极性溶剂，在多数极性溶剂中可分解，对水敏感，遇水分解生成五氧化二钨，暴露在空气中表面会生成膜，在空气中加热可生成四氯氧化钨。
五氯化钨可用作催化剂，能够提高烯烃聚合、烯烃环氧化等反应效率；可用作中间体，用来合成钨酸盐、碳化钨等其他钨化合物，其中，碳化钨可用来生产硬质合金，进而用来制造耐磨部件、切削工具等；高纯度的电子级五氯化钨可用作前驱体材料，利用化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）等工艺在衬底表面沉积得到钨薄膜，在沉积过程中，产品可分解进入硅衬底材料，能够减少衬底材料的晶格缺陷，提高其质量。
五氯化钨制备工艺路线较多，主要有：一定温度条件下，六氯化钨与红磷进行还原反应制得；六氯化钨在一定温度条件下通入氢气还原制得；六氯化钨、四氯乙烯在真空条件下反应制得；钨粉与氯气反应制得；四氯化钨通过歧化反应制得；三氯化钨高温条件下发生红热分解制得等。高纯五氯化钨制备，通常是将上述反应得到的产物置于惰性气体环境中加热升华后冷凝得到。
2021年8月，福建福豆新材料有限公司申请了一项名为“一种五氯化钨的制备及纯化方法”的专利，该专利以过量钨粉为上层，以六氯化钨为下层作为保护层，通入氯气，钨粉与氯气反应得到五氯化钨粗品，粗品经加热升华、凝华得到高纯五氯化钨。
新思界
行业分析人士表示，在我国市场中，湖南省华京粉体材料有限公司可以提供五氯化钨产品，其官网显示，公司于2016年开始研发芯片金属沉积特种材料五氯化钨，目前产品纯度、粒度、均一性等指标达到了高端芯片生产要求。
2025年8月，太和气体（荆州）有限公司“高端电子化学品材料项目”环境影响报告书受理公告，项目总投资50000万元，建设内容中包括99.999%纯度的五氯化钨5吨/年生产能力。
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