双（乙基环戊二烯基）钌又称双乙基环戊二烯基钌、二乙基二茂钌，化学式为Ru（CpEt）2，是一种金属有机物，外观为淡黄色液体。双（乙基环戊二烯基）钌在半导体、化学合成、材料科学等领域具有潜在价值。
在半导体领域，双（乙基环戊二烯基）钌具有高蒸汽压、优异的反应性等特点，可作为钌配合物前驱体，用于化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、等离子体增强原子层淀积等工艺中，制备钌基薄膜。
钌基薄膜具有与铜的黏附性良好、电镀时不溶于铜、高电流密度条件下仍能保持优异性能等特性，可用作动态随机存取存储器（DRAM）中的金属栅电极、CMOS后段制程中铜电镀的种子层、各类传感器的功能电极层等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2031年中国双（乙基环戊二烯基）钌行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，钌基薄膜适合先进制程节点的严苛要求，随着人工智能、5G、高性能计算等技术的发展，市场对钌基薄膜的需求逐渐攀升，进而为高纯度双（乙基环戊二烯基）钌前驱体带来了广阔发展空间。2025年全球双（乙基环戊二烯基）钌市场规模约0.8亿美元，预计2032年将增长至1.4亿美元左右。
双（乙基环戊二烯基）钌中钌元素的检测方法多样，包括气相色谱法、紫外-可见光谱法、高效液相色谱法、电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）、电感耦合等离子体光学发射光谱法（ICP-OES）、原子吸收光谱法等，相关专利有郑州中科新兴产业技术研究院申请的一种用ICP-OES测定双（乙基环戊二烯基）钌（II）中钌元素的纯度的方法。
目前双（乙基环戊二烯基）钌以研发级和小批量供应为主，相关供应商包括安徽敦茂新材料科技有限公司、福建沃尔法生物科技有限公司、拓元（潍坊）新材料科技有限公司等。双（乙基环戊二烯基）钌相关建设项目有江西力华特新材料有限公司的会昌半导体ALD前驱体项目，其中包含0.2吨双（乙基环戊二烯基）钌的生产能力。
新思界
行业分析人士表示，双（乙基环戊二烯基）钌作为钌前驱体，具有高蒸汽压、反应性优异等特点，在半导体薄膜沉积工艺中应用价值较高。随着钌基薄膜在先进制程、存储器、逻辑芯片、传感器等领域深入应用，双（乙基环戊二烯基）钌市场需求将持续释放，我国企业在高纯双（乙基环戊二烯基）钌研发和供应方面已取得一定进展，但生产规模普遍较小。
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