运动控制器是工业自动化领域中用于精准控制运动执行机构（如伺服电机、步进电机）的核心控制单元。其核心作[全文]

体电子显微镜简称体电镜或vEM，是一种对细胞、组织结构等进行成像的工具，能以纳米至微米的分辨率揭示细胞[全文]

燃料发动机是将化学能直接转化为机械能的一种动力设备，其采用燃料包括柴油、汽油、天然气、氨气、氢气等。[全文]

晶圆搬运机器人，是一种在真空环境下工作，专门用于半导体工业制造的自动化设备。根据结构不同，晶圆搬运机[全文]

微型滚珠丝杠副，指公称直径小于25mm的滚珠丝杠副，是典型的功能滚动部件，可实现旋转运动和直线运动相互转[全文]

氮氧化锆（iZON）深低温温度传感器是由基于负温度系数的电阻型温敏材料研制而成，专门设计用于在极端低温环[全文]

激光诱导阻值变化显微镜即激光光束诱导阻抗值变化测试显微镜，简称OBIRCH，是一种采用扫描聚焦激光束产生热[全文]

臭氧发生器是用于制取臭氧气体（O3）的装置，根据臭氧产生方式不同分为高压放电式、紫外线照射式和电解式。[全文]

按照技术原理不同，光刻设备主要包括直写光刻设备以及掩模光刻设备两种类型。直写光刻设备，又称无掩模光刻[全文]

柔性链板输送机是一种组合式立体输送设备，由输送链、输送架体、驱动装置、导向装置等部分组成，可分为环形[全文]

液压打桩锤，是以电机或柴油机驱动的液压泵提供动力，以液压油作为工作介质，利用液压油的压力来传递动力，[全文]

超导回旋加速器是采用超导线圈作为主磁磁铁的回旋加速器类型，具体分为质子超导回旋加速器、重离子超导回旋[全文]

智能装卸机器人，是根据制造业和物流行业装卸场景开发的专业智能化设备或者智能集成化机器人，由机械本体、[全文]

螺杆压缩机属于容积型回转式压缩机，具有可实现自动化控制、排气温度低、输气量调节性良好等特点，根据润滑[全文]

根据测量范围不同，压力变送器分为一般压力变送器（0.001MPa-35MPa）、微差压变送器（0-1.5kPa）和负压变送[全文]

箔片空气轴承，是以周围环境中的空气作为润滑剂并采用箔片作为弹性支承元件的一种动压轴承，由轴承套筒、波[全文]