微型关节模组，指将电机、减速器、编码器、控制驱动器和结构件等子系统高度集成于一体的机器人关节级执行单[全文]

器件的小型化、经济化是自由电子激光器充分发挥优异特性且走向实用化的重要决定因素，近年来，桌面型、经济[全文]

碳化硅原料合成炉，是通过高温合成工艺将含硅原料和含碳原料转化为碳化硅粉料的装备。碳化硅产业链主要包括[全文]

PVT碳化硅炉，全称物理气相传输法碳化硅单晶生长炉，也称PVT碳化硅长晶炉，是采用物理气相传输法（或称升华[全文]

HT-CVD碳化硅炉，全称高温化学气相沉积碳化硅单晶生长炉，是采用高温化学气相沉积法（HT-CVD）生长碳化硅单[全文]

复合材料板簧铺层设备，是专业应用在复合材料板簧生产领域，将预浸料按照铺层方案自动铺贴在板簧模具上制成[全文]

半导体硅单晶炉，是半导体产业链中最核心的材料制备装备之一，通过直拉法（CZ）或者区熔法（FZ）工艺，将高[全文]

LPE碳化硅炉，全称液相外延法碳化硅晶体生长炉，也称LPE碳化硅长晶炉，是采用液相外延法（LPE）生长碳化硅[全文]

足式机器人，全称为足式移动机器人，指通过驱动类似于腿的装置来移动自身的机械系统。与轮式和履带式移动机[全文]

AI视觉机器人，指集成了人工智能以及机器人技术的高端机器人。AI视觉机器人能够实现感知思考行动的闭环，具[全文]

超音速火焰喷涂（HVOF）制动盘是一种通过超音速火焰喷涂（HVOF）技术在制动盘表面制备耐磨涂层的高端制动部[全文]

铁素体氮碳共渗（FNC）制动盘是在相对较低的温度（500-600C）下，将氮、碳原子渗入制动盘表面形成复合强化[全文]

激光熔覆制动盘是一种前沿制动盘，即利用高速激光熔覆技术，来提高制动盘的耐磨性、耐腐蚀性，同时减少刹车[全文]

磁悬浮印刷辊，是采用磁悬浮轴替代传统机械轴承，使印刷辊轮在无接触悬浮状态下高速旋转的一类新型印刷装备[全文]

磁悬浮涡轮机，是采用磁悬浮轴承取代传统机械轴承，使转子在无接触悬浮状态下高速旋转的一类涡轮装备的总称[全文]

高速摄像机，是高频率记录动态图像、进行高速摄影的设备。高速摄像机每秒可拍摄的图像帧数远超普通摄像机，[全文]

混流蒸汽机，指结合了直流与贯流两种流体运动方式的高效能蒸汽发生设备。混流蒸汽机具备响应速度快、高效节[全文]