MEMS热导式气敏传感器是一种基于MEMS技术和热导原理的气体检测设备，主要用于测量和识别特定气体的存在和浓度。
气敏传感器技术路线多样，根据工作原理不同，分为光学型、压电型、电学型，其中电学型气敏传感器又分为半导体式、电化学式、热导式、催化燃烧式。热导式气敏传感器与MEMS的兼容性高，两者结合可以制备出高精度、小体积、高灵敏度、低成本、长寿命、宽量程、易于大规模部署的MEMS热导式气敏传感器。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年MEMS热导式气敏传感器行业市场供需现状及行业经营指标深度调查分析报告》显示，MEMS热导式气敏传感器可用于氢气、甲烷、二氧化碳、硫化氢、六氟化硫、氦气等气体的监测，在氢能、天然气开采、环境监测、化工、医疗、半导体制造、污水处理、电力设备、航天航空等领域具有广阔应用空间。在氢能领域，MEMS热导式气敏传感器可用于氢气的安全监测，保障氢能产业链安全运行。
在国际市场上，MEMS热导式气敏传感器相关企业包括德国HLP公司、瑞士Neroxis公司、荷兰Xensor公司等。MEMS热导式气敏传感器基于MEMS技术制成，MEMS技术即微机械加工技术，我国MEMS技术研究起步较晚，MEMS传感器精度、敏感度等性能还处在追赶国外水平的阶段，高端MEMS传感器进口依赖度较高，尤其是高端MEMS传感器芯片。
我国拥有MEMS技术并将其应用在热导式气敏传感器的企业较少，包括香港中华煤气集团能源研究院氢能研发中心、广东增敏科技有限公司（增敏科技）、苏州芯镁信电子科技有限公司等。高端MEMS气敏传感器市场长期被西方国家垄断，国内企业面临着技术封锁和高昂的进口成本。
增敏科技自主研发的工业级第三代热导式MEMS数字气敏传感器于2024年投产，性能居于国际同行业领先水平，填补了国内在该领域的空白。增敏科技生产中心设在广州增城，搭建了年产100万颗MEMS气敏传感器芯片的生产线，扩产后可达到500万颗/年。
新思界
行业分析人士表示，基于MEMS技术和热导原理的MEMS热导式气敏传感器具有体积小、精度高、量程宽、成本低等优势，在氢能、环保、半导体、石油化工等领域应用空间广阔。MEMS热导式气敏传感器技术壁垒较高，目前我国已实现其国产化生产供应，随着相关技术发展、生产规模扩大，MEMS热导式气敏传感器国产化率将进一步提升。
