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CMP保持环(CMP固定环)在晶圆制造领域应用前景广阔 我国技术水平有望提升

2026-05-12 09:56      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:


        CMP保持环,全称为化学机械平坦化保持环‌,又称CMP固定环、CMP夹持环,指安装于CMP设备研磨头底部,在晶圆化学机械平坦化处理过程中起到固定作用的配件。CMP保持环具备耐化学腐蚀、耐磨损、加工精度高、尺寸稳定性好等优势,在先进封装、晶圆制造领域拥有广阔应用前景。

        近年来,随着研究深入,我国CMP保持环相关专利数量有所增加,主要包括《一种半导体CMP保持环及其粘接方法》、《一种用于CMP研磨的保持环》、《一种用于CMP保持环粘接面的加工方法以及CMP保持环的制备方法》、《一种半导体CMP化学机械抛光设备保持环》等。在此背景下,我国CMP保持环技术水平将得到不断提升。

        CMP保持环通常以聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)、‌聚酰胺酰亚胺(PAI)等为原材料制成。PEEK具备耐高温、耐磨损、耐辐照、耐疲劳以及化学稳定性好等优势,作为PPS替代产品,已在CMP保持环制备过程中获得广泛应用。目前,我国企业及相关科研机构正在加大对于PEEK制备方法的研究,这将为CMP保持环行业发展提供有利条件。‌

        根据新思界产业研究中心发布的《2026-2030年CMP保持环(CMP固定环)行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,CMP保持环在先进封装、晶圆制造领域拥有广阔应用前景。在晶圆制造领域,CMP保持环可用于晶圆抛光、研磨过程中。近年来,伴随国家政策支持以及技术进步,我国晶圆产能持续扩张。2025年我国大陆晶圆月产能占全球现有产能近两成。通常一个CMP保持环可用于加工400片晶圆。未来随着下游行业发展速度加快,我国CMP保持环市场需求将日益旺盛。

        在行业发展初期,全球CMP保持环市场被日韩等海外企业占据主导。近年来,伴随技术进步,我国CMP保持环市场参与者数量有所增长,主要包括江丰电子、黑曼巴半导体、苏州东迈、中研股份等。江丰电子具备CMP保持环、CMP抛光垫等CMP耗材自主研发及规模化生产实力,产品已进入多家晶圆制造商供应链体系。

        新思界行业分析人士表示,CMP保持环作为晶圆加工关键耗材,应用需求旺盛。未来随着下游行业发展速度加快,我国CMP保持环市场空间将得到进一步扩展。与海外发达国家相比,我国CMP保持环行业起步较晚,但发展势头迅猛,本土企业已具备高性能产品生产实力。
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