乙硅烷是一种无机化合物,其化学式为Si2H6,在常温常压下为无色透明,且具有一定刺激性气味的有毒气体,在自身蒸汽压下是无色透明液体。乙硅烷的下游应用领域有非晶硅膜太阳能电池、半导体、液晶面板等行业。作为沉积源时,与相同作用的硅烷相比,乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低等优点。
根据纯度的不同,乙硅烷可以分为≤99.99%和>99.99%两种产品。不同应用领域对乙硅烷的纯度需求有较大差异。目前,乙硅烷市场上纯度≤99.99%的产品占比最大,主要用于生产普通的非晶硅膜太阳能电池、半导体、液晶面板等产品,而高纯度的乙硅烷产品,如纯度达到99.9999%的乙硅烷则用来生产20纳米以下的高端芯片。
乙硅烷属于技术密集型行业,进入门槛相对较高,高端核心技术主要掌握在以美国普莱克斯公司(PRAXAIR)、法国液化空气公司(Air Liquide)、日本昭和电工等为代表的国际特种气体巨头手中,而国内宁波银亿硅源材料有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司等企业目前还尚未形成规模化生产能力,仍处于研究或试产阶段,不具备市场竞争力。
近几年来,在光伏行业、电子行业等的快速发展下,我国的非晶硅膜太阳能电池、半导体、液晶面板等产业也得到了较快的增长,乙硅烷在非晶硅片上的趁机速度快、温度低而得到了非晶硅膜太阳能电池行业的青睐;以乙硅烷为原料生产的电子级晶体硅具有纯度高、质量好的特点,用于高端芯片的制造。在下游行业的推动下,中国乙硅烷市场需求量快速增加,但由于国内企业不具备生产能力,下游客户只能依赖进口。据新思界产业研究中心发布的
《2019-2023年中国乙硅烷行业市场供需现状及发展趋势预测报告》,2018年中国乙硅烷产品进口量为1446千克。
新思界
行业研究员表示,随着社会科技水平和人们生活水平的提高,在非晶硅膜太阳能电池、薄膜晶体管液晶显示和芯片制造等领域中,乙硅烷将会逐渐取代传统硅烷,市场规模也会随之扩大,前景较为广阔。与此同时,随着中国企业的不断发力,我国在乙硅烷领域的空白将不断被填补,在合成和提纯方面的技术逐步突破,和国外发达国家的差距不断缩小,可实现部分产品的国产化,但是高端乙硅烷要实现大规模国产化,完全摆脱进口产品的依赖,依然任重而道远。