三氯硅烷，也称为三氯氢硅，化学式为SiHCl3，外观为无色透明液体状，有刺激性臭味，有毒性。三氯硅烷可溶于醚、苯、氯仿、四氯化碳等有机溶剂，遇水会发生剧烈反应，水解排放出有毒、有腐蚀性气体，易挥发、易燃烧，在空气中可自燃，遇明火可燃烧，遇高热可分解，分解产物为有毒氯化物气体。三氯硅烷属于卤硅烷化合物，是其中的重要产品之一。
三氯硅烷的用途主要有：合成有机硅烷、有机氯硅烷、烷基氯硅烷、芳基氯硅烷等有机硅化合物；合成有机硅烷偶联剂；生产多晶硅、单晶硅；作为半导体外延硅片硅源等。其中，多晶硅、硅烷偶联剂是三氯硅烷的主要下游市场，多晶硅可广泛应用在半导体、太阳能电池、光导纤维等领域，下游产业规模大，因此多晶硅领域对三氯硅烷需求占比最大，达到70%左右。
在我国，三氯硅烷主流制备方法是沸腾氯化法，在一定温度压力条件下，以干燥硅粉为原料，在沸腾炉中与干燥氯化氢进行反应制得粗品，再经分离、冷凝、精馏等工艺得到成品，副产物为四氯化硅，此工艺技术成熟，可自动化生产，经济性较高。此外还有四氯化硅氢化法，此法对设备要求较高，适合以副产物四氯化硅为原料制取三氯硅烷的企业使用。
2021年，从上游原材料来看，硅粉供应紧张、价格高涨，成本支撑三氯硅烷价格走高；从中游来看，能耗双控政策影响下，三氯硅烷行业开工率较低；从下游需求来看，光伏行业景气度高，推动多晶硅产能扩张，三氯硅烷市场供不应求。上中下游多重因素共同影响下，5月份以来，我国三氯硅烷价格大幅上涨，拥有光伏级三氯硅烷生产能力的企业接近满产满销，发展势头强劲。
我国三氯硅烷生产企业主要有新安股份、三孚股份、晨光新材、宏柏新材、东方希望、洛阳中硅、沁阳凌空、河南尚宇、宁夏福泰等。根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年三氯硅烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，与硅烷偶联剂需求不同，多晶硅用三氯硅烷对产品的纯度、杂质含量要求高，因此光伏级三氯硅烷技术壁垒更高，我国三氯硅烷生产企业中，拥有光伏级三氯硅烷生产能力的企业数量较少，其中还有部分产能企业自用不外销。
新思界
行业分析人士表示，根据国家发改委能源研究所预测，到2025年，我国光伏总装机规模将达到7.3亿千瓦，由此推算，到2025年，我国多晶硅用三氯硅烷需求量将达到70万吨以上。我国已有企业计划扩张光伏级三氯硅烷产能，但扩张量有限，未来光伏级三氯硅烷供需缺口将不断增大。总的来看，我国三氯硅烷产能大，但产品结构不合理，光伏级三氯硅烷供不应求，未来发展潜力巨大。
