六氟乙烷，也称为全氟乙烷，化学式为C2F6，是一种有机化合物，常温常压下外观为无色气体状，无臭无味，无毒性。六氟乙烷微溶于水，可溶于乙醇，不可燃，但与可燃气体一同燃烧时，会分解排放出有毒气体氟化氢，在密闭容器中遇高热，有开裂与爆炸危险。
六氟乙烷可用作等离子蚀刻气体、表面清洗剂、绝缘气体、制冷剂等。在制冷剂领域，六氟乙烷也被称为R116制冷剂、氟利昂116、PFC-116，是一种超低温制冷剂，可用于科研、医疗领域，在医疗领域还可用于手术中。半导体是六氟乙烷的重要下游市场，电子级六氟乙烷是重要的等离子蚀刻气体，可应用在硅、氮化硅、磷硅等材料蚀刻方面，并可对电子器件表面进行清洗，可以广泛应用在集成电路、微电子器件、光纤光缆、太阳能电池等领域。
六氟乙烷制备工艺较多，主要有热分解法、电化学氟化法、直接氟化法、金属氟化物氟化法、氟化氢催化氟化法等。六氟乙烷上游原材料主要包括二氧化碳、乙炔、乙烯、乙烷、四氟乙烯、五氟乙烷、三氟化钴、三氟化锰、氟化银、活性炭等。
从安全性方面来看，六氟乙烷性质稳定、无毒、不可燃。从环保方面来看，六氟乙烷的臭氧消耗潜值（ODP）为零，可以与三氟乙烷共混制成混合R508A、R508B制冷剂，与传统低温制冷剂R13、R503相比，在保护臭氧层方面更具优势。六氟乙烷具有一定的全球变暖潜能值（GWP），但与甲烷相比，在化学气相沉积工艺中作为清洗气体其温室效应较低，且利用率更高。
根据新思界产业研究中心发布的
《2022-2027年中国六氟乙烷（C2F6）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，进入21世纪，我国半导体产业发展迅速，制造工艺不断进步，对电子特气的性能要求不断提高。六氟乙烷在半导体材料的干法蚀刻、表面清洗等环节中表现突出，在干法蚀刻方面，可实现集成电路高精度细线蚀刻，且蚀刻效率高，在表面清洗方面，产品利用率高、排放率低。因此与其他含氟电子特气相比，六氟乙烷在半导体产业中更具发展潜力。
新思界
行业分析人士表示，在海外市场中，六氟乙烷生产商主要有德国林德集团、德国默克、法国液化空气集团、日本大阳日酸、日本关东电化学等；在我国市场中，六氟乙烷生产企业主要有广东华特气体股份有限公司、中船重工718派瑞特气、山东华安新材料有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、苏州金宏气体股份有限公司等。其中，广东华特气体股份有限公司是我国电子级六氟乙烷行业中的龙头企业。
