双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI),化学式C12H30MoN4,是一种重要的有机金属中间体,通常呈绿色结晶或橙色液体形态,在室温下相对稳定,对光和氧敏感,可溶于甲苯、二甲基甲酰胺等常见有机溶剂。
双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)具有特定的结构特性、优异的反应活性,可作为催化剂、前驱体材料、添加剂等,应用在有机合成、能源转化、电子功能薄膜制备等领域。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2031年中国双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)行业应用市场需求及开拓机会研究报告》显示,作为催化剂,双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)可用于催化氧化还原反应、羰基化反应、烷基化反应等。作为前驱体材料,双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)主要用于原子层沉积(ALD)、化学气相沉积(CVD)等工艺中制备含钼材料,如氧化钼薄膜、氮化钼薄膜、碳氮化钼薄膜、二硫化钼(MoS₂)沟道材料等。
氧化钼是一种极具潜力的DRAM电极材料,具有高功函数、材料特性可调、可与金红石相TiO₂形成优异界面特性等优势;二硫化钼是下一代场效应晶体管的候选沟道材料,具有较大的带隙Eg、优异的电学性能等特点。双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)作为氧化钼、二硫化钼等的重要前驱体,随着半导体制程向更先进的节点演进,市场需求持续升温。
双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)是制备含钼薄膜的关键前驱体。钼源前驱体在半导体制造(制备薄膜晶体管)、太阳能电池、平板显示等领域应用前景广阔,全球范围内,钼源前驱体供应商包括英特格(Entegris)、液化空气、德国默克、Alfa Aesar(赛默飞旗下)、JX金属株式会社、先导科技集团、福建福豆新材料、湖南奕嘉新材等。
新思界
行业分析人士表示,双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)合成路线较为复杂,对反应条件控制、惰性气氛保护及纯化工艺均有严格要求。广东力华气体有限公司申请的专利一种双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)的制备方法,是以乙二醇二甲醚作为溶剂和反应原料,不使用毒性大、气味难闻的吡啶试剂,具有反应步骤简单、易于实施、反应条件温和、反应原料便宜等优势。
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